Obj V_Res 痠/pix Z step (痠) Scanning LCT 4x 1600 1.873 4 Fast Wavelength Power (%) Balance 488 15.00 1.00 561 10.00 1.00 647 20.00 1.00 785 0.00 1.00 X Y Z Laser Side Exposure 134180 130360 3161 0 1 2 134180 130360 3761 0 1 2 134180 130360 4361 0 1 2 134180 130360 4961 0 1 2 134180 130360 5561 0 1 2 134180 130360 6161 0 1 2 134180 130360 6761 0 1 2 134180 130360 7361 0 1 2 134180 130360 7961 0 1 2 134180 130360 8561 0 1 2 134180 130360 9161 0 1 2 134180 130360 9761 0 1 2 134180 130360 10361 0 1 2 134180 130360 10961 0 1 2 134180 130360 11561 0 1 2 134180 130360 3161 1 1 2 134180 130360 3761 1 1 2 134180 130360 4361 1 1 2 134180 130360 4961 1 1 2 134180 130360 5561 1 1 2 134180 130360 6161 1 1 2 134180 130360 6761 1 1 2 134180 130360 7361 1 1 2 134180 130360 7961 1 1 2 134180 130360 8561 1 1 2 134180 130360 9161 1 1 2 134180 130360 9761 1 1 2 134180 130360 10361 1 1 2 134180 130360 10961 1 1 2 134180 130360 11561 1 1 2 134180 130360 3161 2 1 2 134180 130360 3761 2 1 2 134180 130360 4361 2 1 2 134180 130360 4961 2 1 2 134180 130360 5561 2 1 2 134180 130360 6161 2 1 2 134180 130360 6761 2 1 2 134180 130360 7361 2 1 2 134180 130360 7961 2 1 2 134180 130360 8561 2 1 2 134180 130360 9161 2 1 2 134180 130360 9761 2 1 2 134180 130360 10361 2 1 2 134180 130360 10961 2 1 2 134180 130360 11561 2 1 2 167890 130360 3161 0 1 2 167890 130360 3761 0 1 2 167890 130360 4361 0 1 2 167890 130360 4961 0 1 2 167890 130360 5561 0 1 2 167890 130360 6161 0 1 2 167890 130360 6761 0 1 2 167890 130360 7361 0 1 2 167890 130360 7961 0 1 2 167890 130360 8561 0 1 2 167890 130360 9161 0 1 2 167890 130360 9761 0 1 2 167890 130360 10361 0 1 2 167890 130360 10961 0 1 2 167890 130360 11561 0 1 2 167890 130360 3161 1 1 2 167890 130360 3761 1 1 2 167890 130360 4361 1 1 2 167890 130360 4961 1 1 2 167890 130360 5561 1 1 2 167890 130360 6161 1 1 2 167890 130360 6761 1 1 2 167890 130360 7361 1 1 2 167890 130360 7961 1 1 2 167890 130360 8561 1 1 2 167890 130360 9161 1 1 2 167890 130360 9761 1 1 2 167890 130360 10361 1 1 2 167890 130360 10961 1 1 2 167890 130360 11561 1 1 2 167890 130360 3161 2 1 2 167890 130360 3761 2 1 2 167890 130360 4361 2 1 2 167890 130360 4961 2 1 2 167890 130360 5561 2 1 2 167890 130360 6161 2 1 2 167890 130360 6761 2 1 2 167890 130360 7361 2 1 2 167890 130360 7961 2 1 2 167890 130360 8561 2 1 2 167890 130360 9161 2 1 2 167890 130360 9761 2 1 2 167890 130360 10361 2 1 2 167890 130360 10961 2 1 2 167890 130360 11561 2 1 2 134180 157330 3161 0 1 2 134180 157330 3761 0 1 2 134180 157330 4361 0 1 2 134180 157330 4961 0 1 2 134180 157330 5561 0 1 2 134180 157330 6161 0 1 2 134180 157330 6761 0 1 2 134180 157330 7361 0 1 2 134180 157330 7961 0 1 2 134180 157330 8561 0 1 2 134180 157330 9161 0 1 2 134180 157330 9761 0 1 2 134180 157330 10361 0 1 2 134180 157330 10961 0 1 2 134180 157330 11561 0 1 2 134180 157330 3161 1 1 2 134180 157330 3761 1 1 2 134180 157330 4361 1 1 2 134180 157330 4961 1 1 2 134180 157330 5561 1 1 2 134180 157330 6161 1 1 2 134180 157330 6761 1 1 2 134180 157330 7361 1 1 2 134180 157330 7961 1 1 2 134180 157330 8561 1 1 2 134180 157330 9161 1 1 2 134180 157330 9761 1 1 2 134180 157330 10361 1 1 2 134180 157330 10961 1 1 2 134180 157330 11561 1 1 2 134180 157330 3161 2 1 2 134180 157330 3761 2 1 2 134180 157330 4361 2 1 2 134180 157330 4961 2 1 2 134180 157330 5561 2 1 2 134180 157330 6161 2 1 2 134180 157330 6761 2 1 2 134180 157330 7361 2 1 2 134180 157330 7961 2 1 2 134180 157330 8561 2 1 2 134180 157330 9161 2 1 2 134180 157330 9761 2 1 2 134180 157330 10361 2 1 2 134180 157330 10961 2 1 2 134180 157330 11561 2 1 2 167890 157330 3161 0 1 2 167890 157330 3761 0 1 2 167890 157330 4361 0 1 2 167890 157330 4961 0 1 2 167890 157330 5561 0 1 2 167890 157330 6161 0 1 2 167890 157330 6761 0 1 2 167890 157330 7361 0 1 2 167890 157330 7961 0 1 2 167890 157330 8561 0 1 2 167890 157330 9161 0 1 2 167890 157330 9761 0 1 2 167890 157330 10361 0 1 2 167890 157330 10961 0 1 2 167890 157330 11561 0 1 2 167890 157330 3161 1 1 2 167890 157330 3761 1 1 2 167890 157330 4361 1 1 2 167890 157330 4961 1 1 2 167890 157330 5561 1 1 2 167890 157330 6161 1 1 2 167890 157330 6761 1 1 2 167890 157330 7361 1 1 2 167890 157330 7961 1 1 2 167890 157330 8561 1 1 2 167890 157330 9161 1 1 2 167890 157330 9761 1 1 2 167890 157330 10361 1 1 2 167890 157330 10961 1 1 2 167890 157330 11561 1 1 2 167890 157330 3161 2 1 2 167890 157330 3761 2 1 2 167890 157330 4361 2 1 2 167890 157330 4961 2 1 2 167890 157330 5561 2 1 2 167890 157330 6161 2 1 2 167890 157330 6761 2 1 2 167890 157330 7361 2 1 2 167890 157330 7961 2 1 2 167890 157330 8561 2 1 2 167890 157330 9161 2 1 2 167890 157330 9761 2 1 2 167890 157330 10361 2 1 2 167890 157330 10961 2 1 2 167890 157330 11561 2 1 2 134180 184300 3161 0 1 2 134180 184300 3761 0 1 2 134180 184300 4361 0 1 2 134180 184300 4961 0 1 2 134180 184300 5561 0 1 2 134180 184300 6161 0 1 2 134180 184300 6761 0 1 2 134180 184300 7361 0 1 2 134180 184300 7961 0 1 2 134180 184300 8561 0 1 2 134180 184300 9161 0 1 2 134180 184300 9761 0 1 2 134180 184300 10361 0 1 2 134180 184300 10961 0 1 2 134180 184300 11561 0 1 2 134180 184300 3161 1 1 2 134180 184300 3761 1 1 2 134180 184300 4361 1 1 2 134180 184300 4961 1 1 2 134180 184300 5561 1 1 2 134180 184300 6161 1 1 2 134180 184300 6761 1 1 2 134180 184300 7361 1 1 2 134180 184300 7961 1 1 2 134180 184300 8561 1 1 2 134180 184300 9161 1 1 2 134180 184300 9761 1 1 2 134180 184300 10361 1 1 2 134180 184300 10961 1 1 2 134180 184300 11561 1 1 2 134180 184300 3161 2 1 2 134180 184300 3761 2 1 2 134180 184300 4361 2 1 2 134180 184300 4961 2 1 2 134180 184300 5561 2 1 2 134180 184300 6161 2 1 2 134180 184300 6761 2 1 2 134180 184300 7361 2 1 2 134180 184300 7961 2 1 2 134180 184300 8561 2 1 2 134180 184300 9161 2 1 2 134180 184300 9761 2 1 2 134180 184300 10361 2 1 2 134180 184300 10961 2 1 2 134180 184300 11561 2 1 2 167890 184300 3161 0 1 2 167890 184300 3761 0 1 2 167890 184300 4361 0 1 2 167890 184300 4961 0 1 2 167890 184300 5561 0 1 2 167890 184300 6161 0 1 2 167890 184300 6761 0 1 2 167890 184300 7361 0 1 2 167890 184300 7961 0 1 2 167890 184300 8561 0 1 2 167890 184300 9161 0 1 2 167890 184300 9761 0 1 2 167890 184300 10361 0 1 2 167890 184300 10961 0 1 2 167890 184300 11561 0 1 2 167890 184300 3161 1 1 2 167890 184300 3761 1 1 2 167890 184300 4361 1 1 2 167890 184300 4961 1 1 2 167890 184300 5561 1 1 2 167890 184300 6161 1 1 2 167890 184300 6761 1 1 2 167890 184300 7361 1 1 2 167890 184300 7961 1 1 2 167890 184300 8561 1 1 2 167890 184300 9161 1 1 2 167890 184300 9761 1 1 2 167890 184300 10361 1 1 2 167890 184300 10961 1 1 2 167890 184300 11561 1 1 2 167890 184300 3161 2 1 2 167890 184300 3761 2 1 2 167890 184300 4361 2 1 2 167890 184300 4961 2 1 2 167890 184300 5561 2 1 2 167890 184300 6161 2 1 2 167890 184300 6761 2 1 2 167890 184300 7361 2 1 2 167890 184300 7961 2 1 2 167890 184300 8561 2 1 2 167890 184300 9161 2 1 2 167890 184300 9761 2 1 2 167890 184300 10361 2 1 2 167890 184300 10961 2 1 2 167890 184300 11561 2 1 2