Obj V_Res µm/pix Z step (µm) Scanning LCT 4x 1600 1.873 5 Fast Wavelength Power L Power R 488 25.00 25.00 561 5.00 5.00 642 90.00 90.00 N/A 20.00 20.00 X Y Z Laser Side Exposure 130310 076200 6056 488 1 2 130310 076200 6656 488 1 2 130310 076200 7256 488 1 2 130310 076200 7856 488 1 2 130310 076200 8456 488 1 2 130310 076200 9056 488 1 2 130310 076200 9656 488 1 2 130310 076200 10256 488 1 2 130310 076200 10856 488 1 2 130310 076200 6056 561 1 2 130310 076200 6656 561 1 2 130310 076200 7256 561 1 2 130310 076200 7856 561 1 2 130310 076200 8456 561 1 2 130310 076200 9056 561 1 2 130310 076200 9656 561 1 2 130310 076200 10256 561 1 2 130310 076200 10856 561 1 2 130310 076200 6056 642 1 2 130310 076200 6656 642 1 2 130310 076200 7256 642 1 2 130310 076200 7856 642 1 2 130310 076200 8456 642 1 2 130310 076200 9056 642 1 2 130310 076200 9656 642 1 2 130310 076200 10256 642 1 2 130310 076200 10856 642 1 2 164020 076200 6056 488 1 2 164020 076200 6656 488 1 2 164020 076200 7256 488 1 2 164020 076200 7856 488 1 2 164020 076200 8456 488 1 2 164020 076200 9056 488 1 2 164020 076200 9656 488 1 2 164020 076200 10256 488 1 2 164020 076200 10856 488 1 2 164020 076200 6056 561 1 2 164020 076200 6656 561 1 2 164020 076200 7256 561 1 2 164020 076200 7856 561 1 2 164020 076200 8456 561 1 2 164020 076200 9056 561 1 2 164020 076200 9656 561 1 2 164020 076200 10256 561 1 2 164020 076200 10856 561 1 2 164020 076200 6056 642 1 2 164020 076200 6656 642 1 2 164020 076200 7256 642 1 2 164020 076200 7856 642 1 2 164020 076200 8456 642 1 2 164020 076200 9056 642 1 2 164020 076200 9656 642 1 2 164020 076200 10256 642 1 2 164020 076200 10856 642 1 2 197730 076200 6056 488 1 2 197730 076200 6656 488 1 2 197730 076200 7256 488 1 2 197730 076200 7856 488 1 2 197730 076200 8456 488 1 2 197730 076200 9056 488 1 2 197730 076200 9656 488 1 2 197730 076200 10256 488 1 2 197730 076200 10856 488 1 2 197730 076200 6056 561 1 2 197730 076200 6656 561 1 2 197730 076200 7256 561 1 2 197730 076200 7856 561 1 2 197730 076200 8456 561 1 2 197730 076200 9056 561 1 2 197730 076200 9656 561 1 2 197730 076200 10256 561 1 2 197730 076200 10856 561 1 2 197730 076200 6056 642 1 2 197730 076200 6656 642 1 2 197730 076200 7256 642 1 2 197730 076200 7856 642 1 2 197730 076200 8456 642 1 2 197730 076200 9056 642 1 2 197730 076200 9656 642 1 2 197730 076200 10256 642 1 2 197730 076200 10856 642 1 2 130310 103170 6056 488 1 2 130310 103170 6656 488 1 2 130310 103170 7256 488 1 2 130310 103170 7856 488 1 2 130310 103170 8456 488 1 2 130310 103170 9056 488 1 2 130310 103170 9656 488 1 2 130310 103170 10256 488 1 2 130310 103170 10856 488 1 2 130310 103170 6056 561 1 2 130310 103170 6656 561 1 2 130310 103170 7256 561 1 2 130310 103170 7856 561 1 2 130310 103170 8456 561 1 2 130310 103170 9056 561 1 2 130310 103170 9656 561 1 2 130310 103170 10256 561 1 2 130310 103170 10856 561 1 2 130310 103170 6056 642 1 2 130310 103170 6656 642 1 2 130310 103170 7256 642 1 2 130310 103170 7856 642 1 2 130310 103170 8456 642 1 2 130310 103170 9056 642 1 2 130310 103170 9656 642 1 2 130310 103170 10256 642 1 2 130310 103170 10856 642 1 2 164020 103170 6056 488 1 2 164020 103170 6656 488 1 2 164020 103170 7256 488 1 2 164020 103170 7856 488 1 2 164020 103170 8456 488 1 2 164020 103170 9056 488 1 2 164020 103170 9656 488 1 2 164020 103170 10256 488 1 2 164020 103170 10856 488 1 2 164020 103170 6056 561 1 2 164020 103170 6656 561 1 2 164020 103170 7256 561 1 2 164020 103170 7856 561 1 2 164020 103170 8456 561 1 2 164020 103170 9056 561 1 2 164020 103170 9656 561 1 2 164020 103170 10256 561 1 2 164020 103170 10856 561 1 2 164020 103170 6056 642 1 2 164020 103170 6656 642 1 2 164020 103170 7256 642 1 2 164020 103170 7856 642 1 2 164020 103170 8456 642 1 2 164020 103170 9056 642 1 2 164020 103170 9656 642 1 2 164020 103170 10256 642 1 2 164020 103170 10856 642 1 2 197730 103170 6056 488 1 2 197730 103170 6656 488 1 2 197730 103170 7256 488 1 2 197730 103170 7856 488 1 2 197730 103170 8456 488 1 2 197730 103170 9056 488 1 2 197730 103170 9656 488 1 2 197730 103170 10256 488 1 2 197730 103170 10856 488 1 2 197730 103170 6056 561 1 2 197730 103170 6656 561 1 2 197730 103170 7256 561 1 2 197730 103170 7856 561 1 2 197730 103170 8456 561 1 2 197730 103170 9056 561 1 2 197730 103170 9656 561 1 2 197730 103170 10256 561 1 2 197730 103170 10856 561 1 2 197730 103170 6056 642 1 2 197730 103170 6656 642 1 2 197730 103170 7256 642 1 2 197730 103170 7856 642 1 2 197730 103170 8456 642 1 2 197730 103170 9056 642 1 2 197730 103170 9656 642 1 2 197730 103170 10256 642 1 2 197730 103170 10856 642 1 2 130310 130140 6056 488 1 2 130310 130140 6656 488 1 2 130310 130140 7256 488 1 2 130310 130140 7856 488 1 2 130310 130140 8456 488 1 2 130310 130140 9056 488 1 2 130310 130140 9656 488 1 2 130310 130140 10256 488 1 2 130310 130140 10856 488 1 2 130310 130140 6056 561 1 2 130310 130140 6656 561 1 2 130310 130140 7256 561 1 2 130310 130140 7856 561 1 2 130310 130140 8456 561 1 2 130310 130140 9056 561 1 2 130310 130140 9656 561 1 2 130310 130140 10256 561 1 2 130310 130140 10856 561 1 2 130310 130140 6056 642 1 2 130310 130140 6656 642 1 2 130310 130140 7256 642 1 2 130310 130140 7856 642 1 2 130310 130140 8456 642 1 2 130310 130140 9056 642 1 2 130310 130140 9656 642 1 2 130310 130140 10256 642 1 2 130310 130140 10856 642 1 2 164020 130140 6056 488 1 2 164020 130140 6656 488 1 2 164020 130140 7256 488 1 2 164020 130140 7856 488 1 2 164020 130140 8456 488 1 2 164020 130140 9056 488 1 2 164020 130140 9656 488 1 2 164020 130140 10256 488 1 2 164020 130140 10856 488 1 2 164020 130140 6056 561 1 2 164020 130140 6656 561 1 2 164020 130140 7256 561 1 2 164020 130140 7856 561 1 2 164020 130140 8456 561 1 2 164020 130140 9056 561 1 2 164020 130140 9656 561 1 2 164020 130140 10256 561 1 2 164020 130140 10856 561 1 2 164020 130140 6056 642 1 2 164020 130140 6656 642 1 2 164020 130140 7256 642 1 2 164020 130140 7856 642 1 2 164020 130140 8456 642 1 2 164020 130140 9056 642 1 2 164020 130140 9656 642 1 2 164020 130140 10256 642 1 2 164020 130140 10856 642 1 2 197730 130140 6056 488 1 2 197730 130140 6656 488 1 2 197730 130140 7256 488 1 2 197730 130140 7856 488 1 2 197730 130140 8456 488 1 2 197730 130140 9056 488 1 2 197730 130140 9656 488 1 2 197730 130140 10256 488 1 2 197730 130140 10856 488 1 2 197730 130140 6056 561 1 2 197730 130140 6656 561 1 2 197730 130140 7256 561 1 2 197730 130140 7856 561 1 2 197730 130140 8456 561 1 2 197730 130140 9056 561 1 2 197730 130140 9656 561 1 2 197730 130140 10256 561 1 2 197730 130140 10856 561 1 2 197730 130140 6056 642 1 2 197730 130140 6656 642 1 2 197730 130140 7256 642 1 2 197730 130140 7856 642 1 2 197730 130140 8456 642 1 2 197730 130140 9056 642 1 2 197730 130140 9656 642 1 2 197730 130140 10256 642 1 2 197730 130140 10856 642 1 2 130310 157110 6056 488 1 2 130310 157110 6656 488 1 2 130310 157110 7256 488 1 2 130310 157110 7856 488 1 2 130310 157110 8456 488 1 2 130310 157110 9056 488 1 2 130310 157110 9656 488 1 2 130310 157110 10256 488 1 2 130310 157110 10856 488 1 2 130310 157110 6056 561 1 2 130310 157110 6656 561 1 2 130310 157110 7256 561 1 2 130310 157110 7856 561 1 2 130310 157110 8456 561 1 2 130310 157110 9056 561 1 2 130310 157110 9656 561 1 2 130310 157110 10256 561 1 2 130310 157110 10856 561 1 2 130310 157110 6056 642 1 2 130310 157110 6656 642 1 2 130310 157110 7256 642 1 2 130310 157110 7856 642 1 2 130310 157110 8456 642 1 2 130310 157110 9056 642 1 2 130310 157110 9656 642 1 2 130310 157110 10256 642 1 2 130310 157110 10856 642 1 2 164020 157110 6056 488 1 2 164020 157110 6656 488 1 2 164020 157110 7256 488 1 2 164020 157110 7856 488 1 2 164020 157110 8456 488 1 2 164020 157110 9056 488 1 2 164020 157110 9656 488 1 2 164020 157110 10256 488 1 2 164020 157110 10856 488 1 2 164020 157110 6056 561 1 2 164020 157110 6656 561 1 2 164020 157110 7256 561 1 2 164020 157110 7856 561 1 2 164020 157110 8456 561 1 2 164020 157110 9056 561 1 2 164020 157110 9656 561 1 2 164020 157110 10256 561 1 2 164020 157110 10856 561 1 2 164020 157110 6056 642 1 2 164020 157110 6656 642 1 2 164020 157110 7256 642 1 2 164020 157110 7856 642 1 2 164020 157110 8456 642 1 2 164020 157110 9056 642 1 2 164020 157110 9656 642 1 2 164020 157110 10256 642 1 2 164020 157110 10856 642 1 2 197730 157110 6056 488 1 2 197730 157110 6656 488 1 2 197730 157110 7256 488 1 2 197730 157110 7856 488 1 2 197730 157110 8456 488 1 2 197730 157110 9056 488 1 2 197730 157110 9656 488 1 2 197730 157110 10256 488 1 2 197730 157110 10856 488 1 2 197730 157110 6056 561 1 2 197730 157110 6656 561 1 2 197730 157110 7256 561 1 2 197730 157110 7856 561 1 2 197730 157110 8456 561 1 2 197730 157110 9056 561 1 2 197730 157110 9656 561 1 2 197730 157110 10256 561 1 2 197730 157110 10856 561 1 2 197730 157110 6056 642 1 2 197730 157110 6656 642 1 2 197730 157110 7256 642 1 2 197730 157110 7856 642 1 2 197730 157110 8456 642 1 2 197730 157110 9056 642 1 2 197730 157110 9656 642 1 2 197730 157110 10256 642 1 2 197730 157110 10856 642 1 2 130310 184080 6056 488 1 2 130310 184080 6656 488 1 2 130310 184080 7256 488 1 2 130310 184080 7856 488 1 2 130310 184080 8456 488 1 2 130310 184080 9056 488 1 2 130310 184080 9656 488 1 2 130310 184080 10256 488 1 2 130310 184080 10856 488 1 2 130310 184080 6056 561 1 2 130310 184080 6656 561 1 2 130310 184080 7256 561 1 2 130310 184080 7856 561 1 2 130310 184080 8456 561 1 2 130310 184080 9056 561 1 2 130310 184080 9656 561 1 2 130310 184080 10256 561 1 2 130310 184080 10856 561 1 2 130310 184080 6056 642 1 2 130310 184080 6656 642 1 2 130310 184080 7256 642 1 2 130310 184080 7856 642 1 2 130310 184080 8456 642 1 2 130310 184080 9056 642 1 2 130310 184080 9656 642 1 2 130310 184080 10256 642 1 2 130310 184080 10856 642 1 2 164020 184080 6056 488 1 2 164020 184080 6656 488 1 2 164020 184080 7256 488 1 2 164020 184080 7856 488 1 2 164020 184080 8456 488 1 2 164020 184080 9056 488 1 2 164020 184080 9656 488 1 2 164020 184080 10256 488 1 2 164020 184080 10856 488 1 2 164020 184080 6056 561 1 2 164020 184080 6656 561 1 2 164020 184080 7256 561 1 2 164020 184080 7856 561 1 2 164020 184080 8456 561 1 2 164020 184080 9056 561 1 2 164020 184080 9656 561 1 2 164020 184080 10256 561 1 2 164020 184080 10856 561 1 2 164020 184080 6056 642 1 2 164020 184080 6656 642 1 2 164020 184080 7256 642 1 2 164020 184080 7856 642 1 2 164020 184080 8456 642 1 2 164020 184080 9056 642 1 2 164020 184080 9656 642 1 2 164020 184080 10256 642 1 2 164020 184080 10856 642 1 2 197730 184080 6056 488 1 2 197730 184080 6656 488 1 2 197730 184080 7256 488 1 2 197730 184080 7856 488 1 2 197730 184080 8456 488 1 2 197730 184080 9056 488 1 2 197730 184080 9656 488 1 2 197730 184080 10256 488 1 2 197730 184080 10856 488 1 2 197730 184080 6056 561 1 2 197730 184080 6656 561 1 2 197730 184080 7256 561 1 2 197730 184080 7856 561 1 2 197730 184080 8456 561 1 2 197730 184080 9056 561 1 2 197730 184080 9656 561 1 2 197730 184080 10256 561 1 2 197730 184080 10856 561 1 2 197730 184080 6056 642 1 2 197730 184080 6656 642 1 2 197730 184080 7256 642 1 2 197730 184080 7856 642 1 2 197730 184080 8456 642 1 2 197730 184080 9056 642 1 2 197730 184080 9656 642 1 2 197730 184080 10256 642 1 2 197730 184080 10856 642 1 2