Obj V_Res µm/pix Z step (µm) Scanning Sampling LCT 4x 1600 1.873 5 Fast 1/1 Wavelength Power L Power R 488 48.00 40.00 561 10.00 10.00 642 50.00 50.00 N/A 20.00 20.00 X Y Z Laser Side Exposure 113620 088670 610 488 0 2 113620 088670 1210 488 0 2 113620 088670 1810 488 0 2 113620 088670 2410 488 0 2 113620 088670 3010 488 0 2 113620 088670 3610 488 0 2 113620 088670 4210 488 0 2 113620 088670 4810 488 0 2 113620 088670 5410 488 0 2 113620 088670 6010 488 0 2 113620 088670 6610 488 0 2 113620 088670 610 561 0 2 113620 088670 1210 561 0 2 113620 088670 1810 561 0 2 113620 088670 2410 561 0 2 113620 088670 3010 561 0 2 113620 088670 3610 561 0 2 113620 088670 4210 561 0 2 113620 088670 4810 561 0 2 113620 088670 5410 561 0 2 113620 088670 6010 561 0 2 113620 088670 6610 561 0 2 113620 088670 610 642 0 2 113620 088670 1210 642 0 2 113620 088670 1810 642 0 2 113620 088670 2410 642 0 2 113620 088670 3010 642 0 2 113620 088670 3610 642 0 2 113620 088670 4210 642 0 2 113620 088670 4810 642 0 2 113620 088670 5410 642 0 2 113620 088670 6010 642 0 2 113620 088670 6610 642 0 2 147330 088670 610 488 1 2 147330 088670 1210 488 1 2 147330 088670 1810 488 1 2 147330 088670 2410 488 1 2 147330 088670 3010 488 1 2 147330 088670 3610 488 1 2 147330 088670 4210 488 1 2 147330 088670 4810 488 1 2 147330 088670 5410 488 1 2 147330 088670 6010 488 1 2 147330 088670 6610 488 1 2 147330 088670 610 561 1 2 147330 088670 1210 561 1 2 147330 088670 1810 561 1 2 147330 088670 2410 561 1 2 147330 088670 3010 561 1 2 147330 088670 3610 561 1 2 147330 088670 4210 561 1 2 147330 088670 4810 561 1 2 147330 088670 5410 561 1 2 147330 088670 6010 561 1 2 147330 088670 6610 561 1 2 147330 088670 610 642 1 2 147330 088670 1210 642 1 2 147330 088670 1810 642 1 2 147330 088670 2410 642 1 2 147330 088670 3010 642 1 2 147330 088670 3610 642 1 2 147330 088670 4210 642 1 2 147330 088670 4810 642 1 2 147330 088670 5410 642 1 2 147330 088670 6010 642 1 2 147330 088670 6610 642 1 2 181040 088670 610 488 1 2 181040 088670 1210 488 1 2 181040 088670 1810 488 1 2 181040 088670 2410 488 1 2 181040 088670 3010 488 1 2 181040 088670 3610 488 1 2 181040 088670 4210 488 1 2 181040 088670 4810 488 1 2 181040 088670 5410 488 1 2 181040 088670 6010 488 1 2 181040 088670 6610 488 1 2 181040 088670 610 561 1 2 181040 088670 1210 561 1 2 181040 088670 1810 561 1 2 181040 088670 2410 561 1 2 181040 088670 3010 561 1 2 181040 088670 3610 561 1 2 181040 088670 4210 561 1 2 181040 088670 4810 561 1 2 181040 088670 5410 561 1 2 181040 088670 6010 561 1 2 181040 088670 6610 561 1 2 181040 088670 610 642 1 2 181040 088670 1210 642 1 2 181040 088670 1810 642 1 2 181040 088670 2410 642 1 2 181040 088670 3010 642 1 2 181040 088670 3610 642 1 2 181040 088670 4210 642 1 2 181040 088670 4810 642 1 2 181040 088670 5410 642 1 2 181040 088670 6010 642 1 2 181040 088670 6610 642 1 2 113620 115640 610 488 0 2 113620 115640 1210 488 0 2 113620 115640 1810 488 0 2 113620 115640 2410 488 0 2 113620 115640 3010 488 0 2 113620 115640 3610 488 0 2 113620 115640 4210 488 0 2 113620 115640 4810 488 0 2 113620 115640 5410 488 0 2 113620 115640 6010 488 0 2 113620 115640 6610 488 0 2 113620 115640 610 561 0 2 113620 115640 1210 561 0 2 113620 115640 1810 561 0 2 113620 115640 2410 561 0 2 113620 115640 3010 561 0 2 113620 115640 3610 561 0 2 113620 115640 4210 561 0 2 113620 115640 4810 561 0 2 113620 115640 5410 561 0 2 113620 115640 6010 561 0 2 113620 115640 6610 561 0 2 113620 115640 610 642 0 2 113620 115640 1210 642 0 2 113620 115640 1810 642 0 2 113620 115640 2410 642 0 2 113620 115640 3010 642 0 2 113620 115640 3610 642 0 2 113620 115640 4210 642 0 2 113620 115640 4810 642 0 2 113620 115640 5410 642 0 2 113620 115640 6010 642 0 2 113620 115640 6610 642 0 2 147330 115640 610 488 1 2 147330 115640 1210 488 1 2 147330 115640 1810 488 1 2 147330 115640 2410 488 1 2 147330 115640 3010 488 1 2 147330 115640 3610 488 1 2 147330 115640 4210 488 1 2 147330 115640 4810 488 1 2 147330 115640 5410 488 1 2 147330 115640 6010 488 1 2 147330 115640 6610 488 1 2 147330 115640 610 561 1 2 147330 115640 1210 561 1 2 147330 115640 1810 561 1 2 147330 115640 2410 561 1 2 147330 115640 3010 561 1 2 147330 115640 3610 561 1 2 147330 115640 4210 561 1 2 147330 115640 4810 561 1 2 147330 115640 5410 561 1 2 147330 115640 6010 561 1 2 147330 115640 6610 561 1 2 147330 115640 610 642 1 2 147330 115640 1210 642 1 2 147330 115640 1810 642 1 2 147330 115640 2410 642 1 2 147330 115640 3010 642 1 2 147330 115640 3610 642 1 2 147330 115640 4210 642 1 2 147330 115640 4810 642 1 2 147330 115640 5410 642 1 2 147330 115640 6010 642 1 2 147330 115640 6610 642 1 2 181040 115640 610 488 1 2 181040 115640 1210 488 1 2 181040 115640 1810 488 1 2 181040 115640 2410 488 1 2 181040 115640 3010 488 1 2 181040 115640 3610 488 1 2 181040 115640 4210 488 1 2 181040 115640 4810 488 1 2 181040 115640 5410 488 1 2 181040 115640 6010 488 1 2 181040 115640 6610 488 1 2 181040 115640 610 561 1 2 181040 115640 1210 561 1 2 181040 115640 1810 561 1 2 181040 115640 2410 561 1 2 181040 115640 3010 561 1 2 181040 115640 3610 561 1 2 181040 115640 4210 561 1 2 181040 115640 4810 561 1 2 181040 115640 5410 561 1 2 181040 115640 6010 561 1 2 181040 115640 6610 561 1 2 181040 115640 610 642 1 2 181040 115640 1210 642 1 2 181040 115640 1810 642 1 2 181040 115640 2410 642 1 2 181040 115640 3010 642 1 2 181040 115640 3610 642 1 2 181040 115640 4210 642 1 2 181040 115640 4810 642 1 2 181040 115640 5410 642 1 2 181040 115640 6010 642 1 2 181040 115640 6610 642 1 2 113620 142610 610 488 0 2 113620 142610 1210 488 0 2 113620 142610 1810 488 0 2 113620 142610 2410 488 0 2 113620 142610 3010 488 0 2 113620 142610 3610 488 0 2 113620 142610 4210 488 0 2 113620 142610 4810 488 0 2 113620 142610 5410 488 0 2 113620 142610 6010 488 0 2 113620 142610 6610 488 0 2 113620 142610 610 561 0 2 113620 142610 1210 561 0 2 113620 142610 1810 561 0 2 113620 142610 2410 561 0 2 113620 142610 3010 561 0 2 113620 142610 3610 561 0 2 113620 142610 4210 561 0 2 113620 142610 4810 561 0 2 113620 142610 5410 561 0 2 113620 142610 6010 561 0 2 113620 142610 6610 561 0 2 113620 142610 610 642 0 2 113620 142610 1210 642 0 2 113620 142610 1810 642 0 2 113620 142610 2410 642 0 2 113620 142610 3010 642 0 2 113620 142610 3610 642 0 2 113620 142610 4210 642 0 2 113620 142610 4810 642 0 2 113620 142610 5410 642 0 2 113620 142610 6010 642 0 2 113620 142610 6610 642 0 2 147330 142610 610 488 1 2 147330 142610 1210 488 1 2 147330 142610 1810 488 1 2 147330 142610 2410 488 1 2 147330 142610 3010 488 1 2 147330 142610 3610 488 1 2 147330 142610 4210 488 1 2 147330 142610 4810 488 1 2 147330 142610 5410 488 1 2 147330 142610 6010 488 1 2 147330 142610 6610 488 1 2 147330 142610 610 561 1 2 147330 142610 1210 561 1 2 147330 142610 1810 561 1 2 147330 142610 2410 561 1 2 147330 142610 3010 561 1 2 147330 142610 3610 561 1 2 147330 142610 4210 561 1 2 147330 142610 4810 561 1 2 147330 142610 5410 561 1 2 147330 142610 6010 561 1 2 147330 142610 6610 561 1 2 147330 142610 610 642 1 2 147330 142610 1210 642 1 2 147330 142610 1810 642 1 2 147330 142610 2410 642 1 2 147330 142610 3010 642 1 2 147330 142610 3610 642 1 2 147330 142610 4210 642 1 2 147330 142610 4810 642 1 2 147330 142610 5410 642 1 2 147330 142610 6010 642 1 2 147330 142610 6610 642 1 2 181040 142610 610 488 1 2 181040 142610 1210 488 1 2 181040 142610 1810 488 1 2 181040 142610 2410 488 1 2 181040 142610 3010 488 1 2 181040 142610 3610 488 1 2 181040 142610 4210 488 1 2 181040 142610 4810 488 1 2 181040 142610 5410 488 1 2 181040 142610 6010 488 1 2 181040 142610 6610 488 1 2 181040 142610 610 561 1 2 181040 142610 1210 561 1 2 181040 142610 1810 561 1 2 181040 142610 2410 561 1 2 181040 142610 3010 561 1 2 181040 142610 3610 561 1 2 181040 142610 4210 561 1 2 181040 142610 4810 561 1 2 181040 142610 5410 561 1 2 181040 142610 6010 561 1 2 181040 142610 6610 561 1 2 181040 142610 610 642 1 2 181040 142610 1210 642 1 2 181040 142610 1810 642 1 2 181040 142610 2410 642 1 2 181040 142610 3010 642 1 2 181040 142610 3610 642 1 2 181040 142610 4210 642 1 2 181040 142610 4810 642 1 2 181040 142610 5410 642 1 2 181040 142610 6010 642 1 2 181040 142610 6610 642 1 2 113620 169580 610 488 0 2 113620 169580 1210 488 0 2 113620 169580 1810 488 0 2 113620 169580 2410 488 0 2 113620 169580 3010 488 0 2 113620 169580 3610 488 0 2 113620 169580 4210 488 0 2 113620 169580 4810 488 0 2 113620 169580 5410 488 0 2 113620 169580 6010 488 0 2 113620 169580 6610 488 0 2 113620 169580 610 561 0 2 113620 169580 1210 561 0 2 113620 169580 1810 561 0 2 113620 169580 2410 561 0 2 113620 169580 3010 561 0 2 113620 169580 3610 561 0 2 113620 169580 4210 561 0 2 113620 169580 4810 561 0 2 113620 169580 5410 561 0 2 113620 169580 6010 561 0 2 113620 169580 6610 561 0 2 113620 169580 610 642 0 2 113620 169580 1210 642 0 2 113620 169580 1810 642 0 2 113620 169580 2410 642 0 2 113620 169580 3010 642 0 2 113620 169580 3610 642 0 2 113620 169580 4210 642 0 2 113620 169580 4810 642 0 2 113620 169580 5410 642 0 2 113620 169580 6010 642 0 2 113620 169580 6610 642 0 2 147330 169580 610 488 1 2 147330 169580 1210 488 1 2 147330 169580 1810 488 1 2 147330 169580 2410 488 1 2 147330 169580 3010 488 1 2 147330 169580 3610 488 1 2 147330 169580 4210 488 1 2 147330 169580 4810 488 1 2 147330 169580 5410 488 1 2 147330 169580 6010 488 1 2 147330 169580 6610 488 1 2 147330 169580 610 561 1 2 147330 169580 1210 561 1 2 147330 169580 1810 561 1 2 147330 169580 2410 561 1 2 147330 169580 3010 561 1 2 147330 169580 3610 561 1 2 147330 169580 4210 561 1 2 147330 169580 4810 561 1 2 147330 169580 5410 561 1 2 147330 169580 6010 561 1 2 147330 169580 6610 561 1 2 147330 169580 610 642 1 2 147330 169580 1210 642 1 2 147330 169580 1810 642 1 2 147330 169580 2410 642 1 2 147330 169580 3010 642 1 2 147330 169580 3610 642 1 2 147330 169580 4210 642 1 2 147330 169580 4810 642 1 2 147330 169580 5410 642 1 2 147330 169580 6010 642 1 2 147330 169580 6610 642 1 2 181040 169580 610 488 1 2 181040 169580 1210 488 1 2 181040 169580 1810 488 1 2 181040 169580 2410 488 1 2 181040 169580 3010 488 1 2 181040 169580 3610 488 1 2 181040 169580 4210 488 1 2 181040 169580 4810 488 1 2 181040 169580 5410 488 1 2 181040 169580 6010 488 1 2 181040 169580 6610 488 1 2 181040 169580 610 561 1 2 181040 169580 1210 561 1 2 181040 169580 1810 561 1 2 181040 169580 2410 561 1 2 181040 169580 3010 561 1 2 181040 169580 3610 561 1 2 181040 169580 4210 561 1 2 181040 169580 4810 561 1 2 181040 169580 5410 561 1 2 181040 169580 6010 561 1 2 181040 169580 6610 561 1 2 181040 169580 610 642 1 2 181040 169580 1210 642 1 2 181040 169580 1810 642 1 2 181040 169580 2410 642 1 2 181040 169580 3010 642 1 2 181040 169580 3610 642 1 2 181040 169580 4210 642 1 2 181040 169580 4810 642 1 2 181040 169580 5410 642 1 2 181040 169580 6010 642 1 2 181040 169580 6610 642 1 2 113620 196550 610 488 0 2 113620 196550 1210 488 0 2 113620 196550 1810 488 0 2 113620 196550 2410 488 0 2 113620 196550 3010 488 0 2 113620 196550 3610 488 0 2 113620 196550 4210 488 0 2 113620 196550 4810 488 0 2 113620 196550 5410 488 0 2 113620 196550 6010 488 0 2 113620 196550 6610 488 0 2 113620 196550 610 561 0 2 113620 196550 1210 561 0 2 113620 196550 1810 561 0 2 113620 196550 2410 561 0 2 113620 196550 3010 561 0 2 113620 196550 3610 561 0 2 113620 196550 4210 561 0 2 113620 196550 4810 561 0 2 113620 196550 5410 561 0 2 113620 196550 6010 561 0 2 113620 196550 6610 561 0 2 113620 196550 610 642 0 2 113620 196550 1210 642 0 2 113620 196550 1810 642 0 2 113620 196550 2410 642 0 2 113620 196550 3010 642 0 2 113620 196550 3610 642 0 2 113620 196550 4210 642 0 2 113620 196550 4810 642 0 2 113620 196550 5410 642 0 2 113620 196550 6010 642 0 2 113620 196550 6610 642 0 2 147330 196550 610 488 1 2 147330 196550 1210 488 1 2 147330 196550 1810 488 1 2 147330 196550 2410 488 1 2 147330 196550 3010 488 1 2 147330 196550 3610 488 1 2 147330 196550 4210 488 1 2 147330 196550 4810 488 1 2 147330 196550 5410 488 1 2 147330 196550 6010 488 1 2 147330 196550 6610 488 1 2 147330 196550 610 561 1 2 147330 196550 1210 561 1 2 147330 196550 1810 561 1 2 147330 196550 2410 561 1 2 147330 196550 3010 561 1 2 147330 196550 3610 561 1 2 147330 196550 4210 561 1 2 147330 196550 4810 561 1 2 147330 196550 5410 561 1 2 147330 196550 6010 561 1 2 147330 196550 6610 561 1 2 147330 196550 610 642 1 2 147330 196550 1210 642 1 2 147330 196550 1810 642 1 2 147330 196550 2410 642 1 2 147330 196550 3010 642 1 2 147330 196550 3610 642 1 2 147330 196550 4210 642 1 2 147330 196550 4810 642 1 2 147330 196550 5410 642 1 2 147330 196550 6010 642 1 2 147330 196550 6610 642 1 2 181040 196550 610 488 1 2 181040 196550 1210 488 1 2 181040 196550 1810 488 1 2 181040 196550 2410 488 1 2 181040 196550 3010 488 1 2 181040 196550 3610 488 1 2 181040 196550 4210 488 1 2 181040 196550 4810 488 1 2 181040 196550 5410 488 1 2 181040 196550 6010 488 1 2 181040 196550 6610 488 1 2 181040 196550 610 561 1 2 181040 196550 1210 561 1 2 181040 196550 1810 561 1 2 181040 196550 2410 561 1 2 181040 196550 3010 561 1 2 181040 196550 3610 561 1 2 181040 196550 4210 561 1 2 181040 196550 4810 561 1 2 181040 196550 5410 561 1 2 181040 196550 6010 561 1 2 181040 196550 6610 561 1 2 181040 196550 610 642 1 2 181040 196550 1210 642 1 2 181040 196550 1810 642 1 2 181040 196550 2410 642 1 2 181040 196550 3010 642 1 2 181040 196550 3610 642 1 2 181040 196550 4210 642 1 2 181040 196550 4810 642 1 2 181040 196550 5410 642 1 2 181040 196550 6010 642 1 2 181040 196550 6610 642 1 2 113620 223520 610 488 0 2 113620 223520 1210 488 0 2 113620 223520 1810 488 0 2 113620 223520 2410 488 0 2 113620 223520 3010 488 0 2 113620 223520 3610 488 0 2 113620 223520 4210 488 0 2 113620 223520 4810 488 0 2 113620 223520 5410 488 0 2 113620 223520 6010 488 0 2 113620 223520 6610 488 0 2 113620 223520 610 561 0 2 113620 223520 1210 561 0 2 113620 223520 1810 561 0 2 113620 223520 2410 561 0 2 113620 223520 3010 561 0 2 113620 223520 3610 561 0 2 113620 223520 4210 561 0 2 113620 223520 4810 561 0 2 113620 223520 5410 561 0 2 113620 223520 6010 561 0 2 113620 223520 6610 561 0 2 113620 223520 610 642 0 2 113620 223520 1210 642 0 2 113620 223520 1810 642 0 2 113620 223520 2410 642 0 2 113620 223520 3010 642 0 2 113620 223520 3610 642 0 2 113620 223520 4210 642 0 2 113620 223520 4810 642 0 2 113620 223520 5410 642 0 2 113620 223520 6010 642 0 2 113620 223520 6610 642 0 2 147330 223520 610 488 1 2 147330 223520 1210 488 1 2 147330 223520 1810 488 1 2 147330 223520 2410 488 1 2 147330 223520 3010 488 1 2 147330 223520 3610 488 1 2 147330 223520 4210 488 1 2 147330 223520 4810 488 1 2 147330 223520 5410 488 1 2 147330 223520 6010 488 1 2 147330 223520 6610 488 1 2 147330 223520 610 561 1 2 147330 223520 1210 561 1 2 147330 223520 1810 561 1 2 147330 223520 2410 561 1 2 147330 223520 3010 561 1 2 147330 223520 3610 561 1 2 147330 223520 4210 561 1 2 147330 223520 4810 561 1 2 147330 223520 5410 561 1 2 147330 223520 6010 561 1 2 147330 223520 6610 561 1 2 147330 223520 610 642 1 2 147330 223520 1210 642 1 2 147330 223520 1810 642 1 2 147330 223520 2410 642 1 2 147330 223520 3010 642 1 2 147330 223520 3610 642 1 2 147330 223520 4210 642 1 2 147330 223520 4810 642 1 2 147330 223520 5410 642 1 2 147330 223520 6010 642 1 2 147330 223520 6610 642 1 2 181040 223520 610 488 1 2 181040 223520 1210 488 1 2 181040 223520 1810 488 1 2 181040 223520 2410 488 1 2 181040 223520 3010 488 1 2 181040 223520 3610 488 1 2 181040 223520 4210 488 1 2 181040 223520 4810 488 1 2 181040 223520 5410 488 1 2 181040 223520 6010 488 1 2 181040 223520 6610 488 1 2 181040 223520 610 561 1 2 181040 223520 1210 561 1 2 181040 223520 1810 561 1 2 181040 223520 2410 561 1 2 181040 223520 3010 561 1 2 181040 223520 3610 561 1 2 181040 223520 4210 561 1 2 181040 223520 4810 561 1 2 181040 223520 5410 561 1 2 181040 223520 6010 561 1 2 181040 223520 6610 561 1 2 181040 223520 610 642 1 2 181040 223520 1210 642 1 2 181040 223520 1810 642 1 2 181040 223520 2410 642 1 2 181040 223520 3010 642 1 2 181040 223520 3610 642 1 2 181040 223520 4210 642 1 2 181040 223520 4810 642 1 2 181040 223520 5410 642 1 2 181040 223520 6010 642 1 2 181040 223520 6610 642 1 2