Obj	V_Res	µm/pix	Z step (µm)	Scanning	Sampling	Destripe	Z_Block
LCT 4x	1600	1.800	5	Fast	1/1	N/A/64	600
Wavelength	Power L	Power R					
488	27.00	26.00					
561	9.00	8.00					
642	40.00	40.00					
	20.00	20.00					
X	Y	Z	Laser	Side	Exposure	Skip	
466010	440690	2108	488	0	2	1	
466010	440690	2708	488	0	2	1	
466010	440690	3308	488	0	2	1	
466010	440690	3908	488	0	2	1	
466010	440690	4508	488	0	2	1	
466010	440690	5108	488	0	2	1	
466010	440690	5708	488	0	2	1	
466010	440690	6308	488	0	2	1	
466010	440690	6908	488	0	2	1	
466010	440690	7508	488	0	2	1	
466010	440690	8108	488	0	2	1	
466010	440690	2108	561	0	2	1	
466010	440690	2708	561	0	2	1	
466010	440690	3308	561	0	2	1	
466010	440690	3908	561	0	2	1	
466010	440690	4508	561	0	2	1	
466010	440690	5108	561	0	2	1	
466010	440690	5708	561	0	2	1	
466010	440690	6308	561	0	2	1	
466010	440690	6908	561	0	2	1	
466010	440690	7508	561	0	2	1	
466010	440690	8108	561	0	2	1	
466010	466610	2108	488	0	2	1	
466010	466610	2708	488	0	2	1	
466010	466610	3308	488	0	2	1	
466010	466610	3908	488	0	2	1	
466010	466610	4508	488	0	2	1	
466010	466610	5108	488	0	2	1	
466010	466610	5708	488	0	2	1	
466010	466610	6308	488	0	2	1	
466010	466610	6908	488	0	2	1	
466010	466610	7508	488	0	2	1	
466010	466610	8108	488	0	2	1	
466010	466610	2108	561	0	2	1	
466010	466610	2708	561	0	2	1	
466010	466610	3308	561	0	2	1	
466010	466610	3908	561	0	2	1	
466010	466610	4508	561	0	2	1	
466010	466610	5108	561	0	2	1	
466010	466610	5708	561	0	2	1	
466010	466610	6308	561	0	2	1	
466010	466610	6908	561	0	2	1	
466010	466610	7508	561	0	2	1	
466010	466610	8108	561	0	2	1	
466010	492530	2108	488	0	2	1	
466010	492530	2708	488	0	2	1	
466010	492530	3308	488	0	2	1	
466010	492530	3908	488	0	2	1	
466010	492530	4508	488	0	2	1	
466010	492530	5108	488	0	2	1	
466010	492530	5708	488	0	2	1	
466010	492530	6308	488	0	2	1	
466010	492530	6908	488	0	2	1	
466010	492530	7508	488	0	2	1	
466010	492530	8108	488	0	2	1	
466010	492530	2108	561	0	2	1	
466010	492530	2708	561	0	2	1	
466010	492530	3308	561	0	2	1	
466010	492530	3908	561	0	2	1	
466010	492530	4508	561	0	2	1	
466010	492530	5108	561	0	2	1	
466010	492530	5708	561	0	2	1	
466010	492530	6308	561	0	2	1	
466010	492530	6908	561	0	2	1	
466010	492530	7508	561	0	2	1	
466010	492530	8108	561	0	2	1	
466010	518450	2108	488	0	2	1	
466010	518450	2708	488	0	2	1	
466010	518450	3308	488	0	2	1	
466010	518450	3908	488	0	2	1	
466010	518450	4508	488	0	2	1	
466010	518450	5108	488	0	2	1	
466010	518450	5708	488	0	2	1	
466010	518450	6308	488	0	2	1	
466010	518450	6908	488	0	2	1	
466010	518450	7508	488	0	2	1	
466010	518450	8108	488	0	2	1	
466010	518450	2108	561	0	2	1	
466010	518450	2708	561	0	2	1	
466010	518450	3308	561	0	2	1	
466010	518450	3908	561	0	2	1	
466010	518450	4508	561	0	2	1	
466010	518450	5108	561	0	2	1	
466010	518450	5708	561	0	2	1	
466010	518450	6308	561	0	2	1	
466010	518450	6908	561	0	2	1	
466010	518450	7508	561	0	2	1	
466010	518450	8108	561	0	2	1	
466010	544370	2108	488	0	2	1	
466010	544370	2708	488	0	2	1	
466010	544370	3308	488	0	2	1	
466010	544370	3908	488	0	2	1	
466010	544370	4508	488	0	2	1	
466010	544370	5108	488	0	2	1	
466010	544370	5708	488	0	2	1	
466010	544370	6308	488	0	2	1	
466010	544370	6908	488	0	2	1	
466010	544370	7508	488	0	2	1	
466010	544370	8108	488	0	2	1	
466010	544370	2108	561	0	2	1	
466010	544370	2708	561	0	2	1	
466010	544370	3308	561	0	2	1	
466010	544370	3908	561	0	2	1	
466010	544370	4508	561	0	2	1	
466010	544370	5108	561	0	2	1	
466010	544370	5708	561	0	2	1	
466010	544370	6308	561	0	2	1	
466010	544370	6908	561	0	2	1	
466010	544370	7508	561	0	2	1	
466010	544370	8108	561	0	2	1	
466010	570290	2108	488	0	2	1	
466010	570290	2708	488	0	2	1	
466010	570290	3308	488	0	2	1	
466010	570290	3908	488	0	2	1	
466010	570290	4508	488	0	2	1	
466010	570290	5108	488	0	2	1	
466010	570290	5708	488	0	2	1	
466010	570290	6308	488	0	2	1	
466010	570290	6908	488	0	2	1	
466010	570290	7508	488	0	2	1	
466010	570290	8108	488	0	2	1	
466010	570290	2108	561	0	2	1	
466010	570290	2708	561	0	2	1	
466010	570290	3308	561	0	2	1	
466010	570290	3908	561	0	2	1	
466010	570290	4508	561	0	2	1	
466010	570290	5108	561	0	2	1	
466010	570290	5708	561	0	2	1	
466010	570290	6308	561	0	2	1	
466010	570290	6908	561	0	2	1	
466010	570290	7508	561	0	2	1	
466010	570290	8108	561	0	2	1	
498410	440690	2108	488	1	2	1	
498410	440690	2708	488	1	2	1	
498410	440690	3308	488	1	2	1	
498410	440690	3908	488	1	2	1	
498410	440690	4508	488	1	2	1	
498410	440690	5108	488	1	2	1	
498410	440690	5708	488	1	2	1	
498410	440690	6308	488	1	2	1	
498410	440690	6908	488	1	2	1	
498410	440690	7508	488	1	2	1	
498410	440690	8108	488	1	2	1	
498410	440690	2108	561	1	2	1	
498410	440690	2708	561	1	2	1	
498410	440690	3308	561	1	2	1	
498410	440690	3908	561	1	2	1	
498410	440690	4508	561	1	2	1	
498410	440690	5108	561	1	2	1	
498410	440690	5708	561	1	2	1	
498410	440690	6308	561	1	2	1	
498410	440690	6908	561	1	2	1	
498410	440690	7508	561	1	2	1	
498410	440690	8108	561	1	2	1	
498410	466610	2108	488	1	2	1	
498410	466610	2708	488	1	2	1	
498410	466610	3308	488	1	2	1	
498410	466610	3908	488	1	2	1	
498410	466610	4508	488	1	2	1	
498410	466610	5108	488	1	2	1	
498410	466610	5708	488	1	2	1	
498410	466610	6308	488	1	2	1	
498410	466610	6908	488	1	2	1	
498410	466610	7508	488	1	2	1	
498410	466610	8108	488	1	2	1	
498410	466610	2108	561	1	2	1	
498410	466610	2708	561	1	2	1	
498410	466610	3308	561	1	2	1	
498410	466610	3908	561	1	2	1	
498410	466610	4508	561	1	2	1	
498410	466610	5108	561	1	2	1	
498410	466610	5708	561	1	2	1	
498410	466610	6308	561	1	2	1	
498410	466610	6908	561	1	2	1	
498410	466610	7508	561	1	2	1	
498410	466610	8108	561	1	2	1	
498410	492530	2108	488	1	2	1	
498410	492530	2708	488	1	2	1	
498410	492530	3308	488	1	2	1	
498410	492530	3908	488	1	2	1	
498410	492530	4508	488	1	2	1	
498410	492530	5108	488	1	2	1	
498410	492530	5708	488	1	2	1	
498410	492530	6308	488	1	2	1	
498410	492530	6908	488	1	2	1	
498410	492530	7508	488	1	2	1	
498410	492530	8108	488	1	2	1	
498410	492530	2108	561	1	2	1	
498410	492530	2708	561	1	2	1	
498410	492530	3308	561	1	2	1	
498410	492530	3908	561	1	2	1	
498410	492530	4508	561	1	2	1	
498410	492530	5108	561	1	2	1	
498410	492530	5708	561	1	2	1	
498410	492530	6308	561	1	2	1	
498410	492530	6908	561	1	2	1	
498410	492530	7508	561	1	2	1	
498410	492530	8108	561	1	2	1	
498410	518450	2108	488	1	2	1	
498410	518450	2708	488	1	2	1	
498410	518450	3308	488	1	2	1	
498410	518450	3908	488	1	2	1	
498410	518450	4508	488	1	2	1	
498410	518450	5108	488	1	2	1	
498410	518450	5708	488	1	2	1	
498410	518450	6308	488	1	2	1	
498410	518450	6908	488	1	2	1	
498410	518450	7508	488	1	2	1	
498410	518450	8108	488	1	2	1	
498410	518450	2108	561	1	2	1	
498410	518450	2708	561	1	2	1	
498410	518450	3308	561	1	2	1	
498410	518450	3908	561	1	2	1	
498410	518450	4508	561	1	2	1	
498410	518450	5108	561	1	2	1	
498410	518450	5708	561	1	2	1	
498410	518450	6308	561	1	2	1	
498410	518450	6908	561	1	2	1	
498410	518450	7508	561	1	2	1	
498410	518450	8108	561	1	2	1	
498410	544370	2108	488	1	2	1	
498410	544370	2708	488	1	2	1	
498410	544370	3308	488	1	2	1	
498410	544370	3908	488	1	2	1	
498410	544370	4508	488	1	2	1	
498410	544370	5108	488	1	2	1	
498410	544370	5708	488	1	2	1	
498410	544370	6308	488	1	2	1	
498410	544370	6908	488	1	2	1	
498410	544370	7508	488	1	2	1	
498410	544370	8108	488	1	2	1	
498410	544370	2108	561	1	2	1	
498410	544370	2708	561	1	2	1	
498410	544370	3308	561	1	2	1	
498410	544370	3908	561	1	2	1	
498410	544370	4508	561	1	2	1	
498410	544370	5108	561	1	2	1	
498410	544370	5708	561	1	2	1	
498410	544370	6308	561	1	2	1	
498410	544370	6908	561	1	2	1	
498410	544370	7508	561	1	2	1	
498410	544370	8108	561	1	2	1	
498410	570290	2108	488	1	2	1	
498410	570290	2708	488	1	2	1	
498410	570290	3308	488	1	2	1	
498410	570290	3908	488	1	2	1	
498410	570290	4508	488	1	2	1	
498410	570290	5108	488	1	2	1	
498410	570290	5708	488	1	2	1	
498410	570290	6308	488	1	2	1	
498410	570290	6908	488	1	2	1	
498410	570290	7508	488	1	2	1	
498410	570290	8108	488	1	2	1	
498410	570290	2108	561	1	2	1	
498410	570290	2708	561	1	2	1	
498410	570290	3308	561	1	2	1	
498410	570290	3908	561	1	2	1	
498410	570290	4508	561	1	2	1	
498410	570290	5108	561	1	2	1	
498410	570290	5708	561	1	2	1	
498410	570290	6308	561	1	2	1	
498410	570290	6908	561	1	2	1	
498410	570290	7508	561	1	2	1	
498410	570290	8108	561	1	2	1	
530810	440690	2108	488	1	2	1	
530810	440690	2708	488	1	2	1	
530810	440690	3308	488	1	2	1	
530810	440690	3908	488	1	2	1	
530810	440690	4508	488	1	2	1	
530810	440690	5108	488	1	2	1	
530810	440690	5708	488	1	2	1	
530810	440690	6308	488	1	2	1	
530810	440690	6908	488	1	2	1	
530810	440690	7508	488	1	2	1	
530810	440690	8108	488	1	2	1	
530810	440690	2108	561	1	2	1	
530810	440690	2708	561	1	2	1	
530810	440690	3308	561	1	2	1	
530810	440690	3908	561	1	2	1	
530810	440690	4508	561	1	2	1	
530810	440690	5108	561	1	2	1	
530810	440690	5708	561	1	2	1	
530810	440690	6308	561	1	2	1	
530810	440690	6908	561	1	2	1	
530810	440690	7508	561	1	2	1	
530810	440690	8108	561	1	2	1	
530810	466610	2108	488	1	2	1	
530810	466610	2708	488	1	2	1	
530810	466610	3308	488	1	2	1	
530810	466610	3908	488	1	2	1	
530810	466610	4508	488	1	2	1	
530810	466610	5108	488	1	2	1	
530810	466610	5708	488	1	2	1	
530810	466610	6308	488	1	2	1	
530810	466610	6908	488	1	2	1	
530810	466610	7508	488	1	2	1	
530810	466610	8108	488	1	2	1	
530810	466610	2108	561	1	2	1	
530810	466610	2708	561	1	2	1	
530810	466610	3308	561	1	2	1	
530810	466610	3908	561	1	2	1	
530810	466610	4508	561	1	2	1	
530810	466610	5108	561	1	2	1	
530810	466610	5708	561	1	2	1	
530810	466610	6308	561	1	2	1	
530810	466610	6908	561	1	2	1	
530810	466610	7508	561	1	2	1	
530810	466610	8108	561	1	2	1	
530810	492530	2108	488	1	2	1	
530810	492530	2708	488	1	2	1	
530810	492530	3308	488	1	2	1	
530810	492530	3908	488	1	2	1	
530810	492530	4508	488	1	2	1	
530810	492530	5108	488	1	2	1	
530810	492530	5708	488	1	2	1	
530810	492530	6308	488	1	2	1	
530810	492530	6908	488	1	2	1	
530810	492530	7508	488	1	2	1	
530810	492530	8108	488	1	2	1	
530810	492530	2108	561	1	2	1	
530810	492530	2708	561	1	2	1	
530810	492530	3308	561	1	2	1	
530810	492530	3908	561	1	2	1	
530810	492530	4508	561	1	2	1	
530810	492530	5108	561	1	2	1	
530810	492530	5708	561	1	2	1	
530810	492530	6308	561	1	2	1	
530810	492530	6908	561	1	2	1	
530810	492530	7508	561	1	2	1	
530810	492530	8108	561	1	2	1	
530810	518450	2108	488	1	2	1	
530810	518450	2708	488	1	2	1	
530810	518450	3308	488	1	2	1	
530810	518450	3908	488	1	2	1	
530810	518450	4508	488	1	2	1	
530810	518450	5108	488	1	2	1	
530810	518450	5708	488	1	2	1	
530810	518450	6308	488	1	2	1	
530810	518450	6908	488	1	2	1	
530810	518450	7508	488	1	2	1	
530810	518450	8108	488	1	2	1	
530810	518450	2108	561	1	2	1	
530810	518450	2708	561	1	2	1	
530810	518450	3308	561	1	2	1	
530810	518450	3908	561	1	2	1	
530810	518450	4508	561	1	2	1	
530810	518450	5108	561	1	2	1	
530810	518450	5708	561	1	2	1	
530810	518450	6308	561	1	2	1	
530810	518450	6908	561	1	2	1	
530810	518450	7508	561	1	2	1	
530810	518450	8108	561	1	2	1	
530810	544370	2108	488	1	2	1	
530810	544370	2708	488	1	2	1	
530810	544370	3308	488	1	2	1	
530810	544370	3908	488	1	2	1	
530810	544370	4508	488	1	2	1	
530810	544370	5108	488	1	2	1	
530810	544370	5708	488	1	2	1	
530810	544370	6308	488	1	2	1	
530810	544370	6908	488	1	2	1	
530810	544370	7508	488	1	2	1	
530810	544370	8108	488	1	2	1	
530810	544370	2108	561	1	2	1	
530810	544370	2708	561	1	2	1	
530810	544370	3308	561	1	2	1	
530810	544370	3908	561	1	2	1	
530810	544370	4508	561	1	2	1	
530810	544370	5108	561	1	2	1	
530810	544370	5708	561	1	2	1	
530810	544370	6308	561	1	2	1	
530810	544370	6908	561	1	2	1	
530810	544370	7508	561	1	2	1	
530810	544370	8108	561	1	2	1	
530810	570290	2108	488	1	2	1	
530810	570290	2708	488	1	2	1	
530810	570290	3308	488	1	2	1	
530810	570290	3908	488	1	2	1	
530810	570290	4508	488	1	2	1	
530810	570290	5108	488	1	2	1	
530810	570290	5708	488	1	2	1	
530810	570290	6308	488	1	2	1	
530810	570290	6908	488	1	2	1	
530810	570290	7508	488	1	2	1	
530810	570290	8108	488	1	2	1	
530810	570290	2108	561	1	2	1	
530810	570290	2708	561	1	2	1	
530810	570290	3308	561	1	2	1	
530810	570290	3908	561	1	2	1	
530810	570290	4508	561	1	2	1	
530810	570290	5108	561	1	2	1	
530810	570290	5708	561	1	2	1	
530810	570290	6308	561	1	2	1	
530810	570290	6908	561	1	2	1	
530810	570290	7508	561	1	2	1	
530810	570290	8108	561	1	2	1